Kiểm soát áp suất khí có độ tinh khiết cao cho các ứng dụng quan trọng

Bộ điều chỉnh áp suất khí có độ tinh khiết cao làm giảm áp suất cung cấp ngược dòng xuống mức vận hành hạ lưu xác định. Hiệu suất của nó phụ thuộc vào thiết kế bộ điều chỉnh, áp suất đầu vào, áp suất đầu ra cần thiết, lưu lượng khí, cấu trúc bịt kín và khả năng tương thích của tất cả các vật liệu tiếp xúc với khí.

Đối với các ứng dụng bán dẫn, việc chọn bộ điều chỉnh chỉ dựa trên thân bằng thép không gỉ hoặc áp suất đầu ra danh nghĩa có thể khiến các yêu cầu quan trọng không được giải quyết. Cơ hoành, kim van, mặt tựa và vòng đệm cũng phải được đánh giá theo khí thực tế và các điều kiện vận hành.

• Điều chỉnh áp suất kiểu màng cho các yêu cầu cung cấp khí cụ thể.
• Tùy chọn thân bằng thép không gỉ 316L và VIM+VAR 316L, tùy thuộc vào cấu hình.
• Các tùy chọn thành phần bên trong và vật liệu bịt kín được lựa chọn cho các yêu cầu dịch vụ khác nhau.
• Nhiều đồng hồ đo áp suất và cấu hình kết nối để hỗ trợ tích hợp hệ thống.

Bộ giảm áp có độ tinh khiết cao cấp bán dẫn

Bộ giảm áp có độ tinh khiết cao cấp bán dẫn được lựa chọn theo nhu cầu của hệ thống phân phối khí hoàn chỉnh. Khả năng tương thích vật liệu, hiệu suất bịt kín, độ hoàn thiện bề mặt bên trong và áp suất vận hành phải được đánh giá cùng nhau thay vì được coi là thông số kỹ thuật độc lập.

Các cấu hình dòng U và X có sẵn hỗ trợ các ứng dụng khí có độ tinh khiết cao được xác định. Tùy thuộc vào kiểu máy đã chọn, các tùy chọn bao gồm thân bằng thép không gỉ 316L hoặc VIM+VAR 316L, vật liệu màng ngăn và kim van được chỉ định cũng như các cấu trúc bịt kín khác nhau.

Đối với các ứng dụng yêu cầu vật liệu bên trong chuyên dụng, các cấu hình được chọn cung cấp tùy chọn UNS N06022 hoặc UNS N10276. Vật liệu bịt kín PCTFE và PI cũng có sẵn trên các mẫu máy hiện hành. Lựa chọn vật liệu cuối cùng phải dựa trên các điều kiện khí, nhiệt độ, áp suất và vận hành thực tế.

Lưu ý lựa chọn:Không có sự kết hợp vật liệu nào phù hợp cho mọi loại khí đặc biệt. Xác nhận tính tương thích của tất cả các bộ phận bị ướt trước khi chỉ định bộ điều chỉnh dành cho dịch vụ ăn mòn, độc hại, dễ cháy hoặc oxy hóa.

Tập trung vào chất lượng cho các nhóm mua sắm

Các yêu cầu kiểm tra có thể được điều chỉnh phù hợp với mẫu máy đã chọn và thông số kỹ thuật mua hàng. Khách hàng có thể xác định các tiêu chí rò rỉ cần thiết, kỳ vọng về độ sạch, tài liệu kiểm tra và nhu cầu truy xuất nguồn gốc trước khi xác nhận đơn hàng.

Ứng dụng trong hệ thống phân phối khí bán dẫn

Bộ điều chỉnh áp suất khí có độ tinh khiết cao được sử dụng trong thiết bị cung cấp và phân phối khí, nơi việc kiểm soát áp suất, khả năng tương thích và độ sạch của khí rất quan trọng đối với hoạt động của hệ thống.

• Tủ gas bán dẫn:Giảm áp suất cho các ứng dụng nguồn khí tương thích.
• Hộp đa dạng van (VMB):Tích hợp vào các cụm phân phối khí với áp suất và thông số kỹ thuật kết nối phù hợp.
• Tấm đa dạng van (VMP):Điều chỉnh áp suất trong bố trí cung cấp khí được cấu hình.
• Hệ thống khí đặc biệt số lượng lớn (BSGS):Cấu hình được lựa chọn cho các yêu cầu phân phối khí hiện hành.
• Dòng khí xử lý có độ tinh khiết cao:Lựa chọn bộ điều chỉnh dựa trên yêu cầu về khí, áp suất vận hành, nhu cầu lưu lượng và độ sạch.

Sự phù hợp cuối cùng phụ thuộc vào thành phần khí thực tế, điều kiện vận hành, thiết kế hệ thống và khả năng tương thích của mô hình đã được xác nhận.

Bộ điều chỉnh áp suất khí có độ tinh khiết cao là gì?

Bộ điều chỉnh áp suất khí có độ tinh khiết cao giúp giảm áp suất cung cấp xuống mức vận hành hạ lưu xác định đồng thời giải quyết các yêu cầu về tính tương thích của khí, hiệu suất bịt kín và độ sạch. Các ứng dụng bán dẫn có thể yêu cầu kiểm soát độ hoàn thiện bề mặt, làm sạch, lắp ráp và thử nghiệm sản phẩm.

Tôi nên kiểm tra những gì khi lựa chọn bộ giảm áp có độ tinh khiết cao cấp bán dẫn?

Kiểm tra khí xử lý, áp suất đầu vào tối đa, áp suất đầu ra yêu cầu, nhu cầu lưu lượng, vật liệu ướt, giao diện kết nối, tiêu chí chấp nhận rò rỉ và yêu cầu về độ sạch. Cấu hình cuối cùng phải tương thích với dịch vụ dự định.

Tại sao chọn thép không gỉ VIM+VAR 316L?

Quá trình xử lý VIM+VAR cung cấp một lộ trình tinh chế vật liệu bổ sung nhằm cải thiện độ sạch của vật liệu và kiểm soát tạp chất. Nó có thể được xem xét khi ứng dụng yêu cầu chất lượng vật liệu nâng cao. Loại thích hợp phải được xác định bởi đặc điểm kỹ thuật của hệ thống và các yêu cầu mua sắm.

Sự khác biệt giữa rò rỉ bên ngoài và bên trong là gì?

Rò rỉ bên ngoài đề cập đến khí thoát ra từ bộ điều chỉnh ra môi trường xung quanh. Rò rỉ ghế bên trong là hiện tượng khí đi qua ghế điều chỉnh đã đóng. Đây là những đặc tính hiệu suất riêng biệt và có thể yêu cầu các tiêu chí kiểm tra riêng biệt.

Tôi có thể chỉ định các đồng hồ đo áp suất và kết nối khác nhau không?

Các cấu hình áp dụng cung cấp các phạm vi đo áp suất và tùy chọn kết nối khác nhau. Tính sẵn có tùy thuộc vào dòng và kiểu máy đã chọn. Cung cấp phạm vi đo, kích thước cổng và giao diện kết nối cần thiết để xác nhận.

Những thông tin cần thiết để yêu cầu báo giá?

Cung cấp loại khí, áp suất đầu vào và đầu ra, lưu lượng yêu cầu, yêu cầu vật liệu ướt, chi tiết kết nối, nhiệt độ vận hành, tiêu chí kiểm tra rò rỉ, yêu cầu về độ sạch và số lượng ước tính. Bảng dữ liệu kỹ thuật hoặc bản vẽ hệ thống cũng có thể giúp làm rõ cấu hình được yêu cầu.